放电气体APC不稳定[错误代码:4212]

原因¶

BID的检测器气体流量不稳定。

措施¶

• 请确认BID检测器气体的供给压力是否在下述范围内。
  
  

  
  
  
  

  
• 请确认气体的供给压力是否稳定。
• 请确认管路连接部位是否松动或漏气。
• 请与您所在区域内的开元(中国)分公司联系，确认使用的管路内径和长度。

如果确认上述事项后仍然反复显示错误，其原因可能是流量控制器发生故障。
此时请关闭仪器的主电源，停止供给气体，并与您所在区域内的开元(中国)分公司联系。