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原因
措施
气体切换模块n主过压[错误代码:2364 2365]
原因
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气体切换模块承受了过大的压力。
措施
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请确保气体切换模块的供应压力在下表所示的范围内。
如果对供应压力没有影响,请关闭仪器的主电源,停止供给气体,并与您所在区域内的开元(中国)分公司联系。
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